真空鍍膜機(jī),真空鍍膜設(shè)備真空閥和真空擋板特點(diǎn)
（1）真空鍍膜機(jī),真空鍍膜設(shè)備隔膜式真空閥
隔膜式真空閥是利用閥桿將橡膠隔膜直接壓在閥座上，用來截止或接通氣流。它常裝在被抽真空容器與各種低真空泵之間。典型的隔膜式真空閥結(jié)構(gòu)圖如圖 22-1 所示。
真空鍍膜機(jī),真空鍍膜設(shè)備真空閥和真空擋板其動(dòng)作原理是旋轉(zhuǎn)手柄使閥桿向下運(yùn)動(dòng)，將橡膠隔膜直接壓在閥座上，截止氣流。反方向旋轉(zhuǎn)手輪，閥桿向上運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)橡膠隔膜離開閥座，接通氣流。 閥門主體采用鋁合金鑄造。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、質(zhì)量輕、體積小，密封性能良好。采用丁腈橡膠的隔膜真空閥，用 于前級(jí)和預(yù)抽低真空管道上及溫度一 25?80°C的非腐蝕性氣體。采用氟橡膠的隔膜真空閥，可用于高真空系統(tǒng)，使用溫度范圍為一30?150°C。
（2）真空鍍膜機(jī),真空鍍膜設(shè)備真空閥和真空擋板真空擋板閥
真空鍍膜機(jī),真空鍍膜設(shè)備真空閥和真空擋板真空擋板閥的工作原理是閥板通過閥桿做上下運(yùn)動(dòng)而實(shí)現(xiàn)密封的。驅(qū)使閥桿運(yùn)動(dòng)的傳動(dòng)部件有手動(dòng)、 手電兩動(dòng)、氣動(dòng)三種方式。手動(dòng)傳動(dòng)部件，以螺紋結(jié)構(gòu)為主，也可以采用平凸輪結(jié)構(gòu)。
真空鍍膜機(jī),真空鍍膜設(shè)備真空閥和真空擋板分別為直角式、直通式真空擋板閥結(jié)構(gòu)示意圖。手動(dòng) 兩用的傳動(dòng)部件，由電動(dòng)機(jī)、蝸輪、蝸桿組成，并裝有行程開關(guān)。當(dāng)接通電源后，電動(dòng)機(jī)按某一方向（如開啟方向）旋轉(zhuǎn)，通過蝸輪、蝸桿帶動(dòng)閥桿向上運(yùn)動(dòng)使閥板上升，當(dāng)閥上升到一定高度時(shí)，行程開關(guān)自動(dòng)切斷電源，閥桿運(yùn)動(dòng)立即停止，反之亦然。手動(dòng)時(shí)，松開手輪背帽，用手按一定方向轉(zhuǎn)動(dòng)手輪即可，圖22-4為GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖。
真空鍍膜機(jī),真空鍍膜設(shè)備真空閥和真空擋板氣動(dòng)傳動(dòng)部件以壓縮干燥空氣為動(dòng)力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動(dòng)汽缸活塞上下運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)閥桿上下運(yùn)動(dòng)，使閥板開啟關(guān)閉，從而達(dá)到接通或停止氣流的 目的。真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。 適用壓力范圍：軸封為橡膠時(shí)為1.3X10_4?105Pa; 軸封為波紋管結(jié)構(gòu)時(shí)為1.3X10-5?105Pa。工作介截止氣流，可安裝在被抽真空容器（真空室）與真空泵之間；或用于在半連續(xù)真空作業(yè)的進(jìn)出料容器上。 使用溫度為一20?80°C，不適用于對(duì)黑色金屬有腐蝕性或含顆粒狀物灰塵的氣體。
b.超高真空插板閥主要用于超高真空系統(tǒng)中接通或截止氣流。適用的介質(zhì)為潔凈的空氣或非腐蝕性氣體；適用溫度在閥門開啟時(shí)，閥體允許烘烤溫度小于 150°C。由于真空插板閥具有流導(dǎo)大，密封性能好，放氣率低，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊、合理，操作方便，安裝位置可任意選擇等一系列優(yōu)點(diǎn)，因此真空插板閥廣泛用 于中、大型高真空、超高真空裝置的真空系統(tǒng)中。
②形式和性能參數(shù)
a.高真空插板閥的形式與基本參數(shù)，已有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（JB/T 4077—91）。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的高真空插板閥的形式和基本參數(shù)，適用于1.3X10-5?1.0X105Pa真空系統(tǒng)中用來幵啟或隔斷氣流的插板閥。幵啟閥門時(shí)，閥板兩側(cè)的壓差應(yīng)小于或等于2. 7kPa。
b.我國(guó)生產(chǎn)的超高真空插板閥有手動(dòng)（CC型）、 氣動(dòng)（CCQ型）和電動(dòng)（CCD型）三種。適用于介質(zhì)為清潔空氣及非腐蝕性氣體的超高真空系統(tǒng)中切斷 或接通氣流。其中GC型系列高真空插板閥是以螺桿傳動(dòng)來推動(dòng)鋼球運(yùn)動(dòng)，撐開閥板關(guān)閉，又靠彈簧力收 攏閥板打開的高真空閥門；GCQ系列以壓縮空氣為動(dòng)力推動(dòng)鋼球運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)閥門的開啟和關(guān)閉。這兩種閥的材料為不鎊鋼，漏氣速率不超@ 1.3X 10-7 Pa • L/So GCD型系列閥門形式同CCl5型超高真空插板閥，只是連接法蘭按高真空法蘭由刀口金屬密封 結(jié)構(gòu)改為丁腈橡膠圈密封結(jié)構(gòu)；閥體閥板材料可為不 銹鋼或碳鋼鍍鎳，閥板密封件材料為丁腈橡膠。適用范圍為 1.3X104 ?105Pa。
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